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半導(dǎo)體器件晶圓的生產(chǎn)過程中，易受外來物、灰塵粒子、金屬離子等外來物的影響而破壞表面結(jié)構(gòu)，這種產(chǎn)品特性也決定了其制造過程中必須有潔凈度的要求。所以潔凈室至于半導(dǎo)體行業(yè)是非常重要的存在。潔凈室的潔凈度控制不好，會(huì)導(dǎo)致空氣中的含塵量過高，從而導(dǎo)致外來物的增加，進(jìn)而影響到生產(chǎn)、測(cè)試的準(zhǔn)確度、穩(wěn)定性。嚴(yán)重還會(huì)導(dǎo)致探針測(cè)試卡的損壞。
在半導(dǎo)體無塵車間的建造過程中，除了廠房的主體結(jié)構(gòu)施工外，還有潔凈建筑裝飾施工、凈化空調(diào)系統(tǒng)及其風(fēng)管、過濾器的施工安裝、高純水系統(tǒng)及其管線的安裝、高純氣體系統(tǒng)（含特種氣體供應(yīng)等）及其管線安裝、真空系統(tǒng)及其管線的安裝、化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)及其管線的安裝、各種排風(fēng)和排氣系統(tǒng)及其處理設(shè)備的安裝、消防安全報(bào)警系統(tǒng)及其控制設(shè)備的安裝、變配電、電氣系統(tǒng)及其橋架、配管配線的安裝、照明系統(tǒng)及燈具的安裝、防微振裝置的安裝、生產(chǎn)工藝設(shè)備及其配管配線的安裝等。還有氣源，包括吹干晶圓及機(jī)臺(tái)空壓所需要的，都得使用氮?dú)?98%)，吹干晶圓的氮?dú)馍踔烈?9.8%以上的高純氮。這些都是設(shè)計(jì)要注意的地方。

潔凈室最主要的作用就在其能控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)。在晶圓車間中，為了解決晶圓測(cè)試中良率不佳、測(cè)試結(jié)果不穩(wěn)定，探針測(cè)試卡的損毀及晶圓的報(bào)廢這些問題，潔凈室及輔助室的設(shè)計(jì)就該是廠區(qū)建設(shè)的首要任務(wù)之一。越是大的從事晶圓生產(chǎn)的企業(yè)對(duì)整個(gè)工廠自動(dòng)化、智能化程度要求越高，所以對(duì)半導(dǎo)體潔凈生產(chǎn)車間的設(shè)計(jì)師來說，動(dòng)輒幾百億投資的晶圓廠區(qū)做怎樣的合理規(guī)劃、系統(tǒng)架設(shè)以提高整個(gè)潔凈工廠的空間利用率、減少機(jī)臺(tái)的閑置時(shí)間、提升產(chǎn)品的良率是他們?cè)O(shè)計(jì)的重中之重。當(dāng)然這些內(nèi)容也是工廠設(shè)計(jì)定稿前需要與廠家重點(diǎn)探討研究的問題。晶圓車間對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的溫度、濕度、潔凈度、防微振等均有著嚴(yán)格的控制要求，且各種配套系統(tǒng)繁多復(fù)雜。CEIDI西遞設(shè)計(jì)師常規(guī)也會(huì)采用FAB布局設(shè)計(jì)。大多數(shù)FBA工廠都是四層結(jié)構(gòu)，從上至下分別為：上技術(shù)夾層，潔凈生產(chǎn)層，潔凈下技術(shù)夾層和非潔凈下技術(shù)夾層。

設(shè)計(jì)指標(biāo)及參數(shù)要點(diǎn)：

1. 因其對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的恒溫恒濕溫控制要求很高（溫度控制在22℃±1℃，相對(duì)濕度控制在43%±3%）；

2. 生產(chǎn)大環(huán)境的空氣潔凈等級(jí)為千級(jí)（ISO 6級(jí)）；

3. 光刻等特殊區(qū)域的空氣凈化等級(jí)十級(jí)（ISO 4級(jí)）；

4. 規(guī)范要求空氣凈化等級(jí)（ISO 1-4級(jí)）的凈化室采用垂直層流：上技術(shù)夾層（送風(fēng)靜壓箱）中的空氣通過FFU（風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組）輸送至潔凈生產(chǎn)層，氣流通過高架地板及華夫板孔洞送至潔凈下技術(shù)夾層，再經(jīng)過回風(fēng)夾道中的DCC(干冷盤管)回到上技術(shù)夾層，循環(huán)往復(fù)。

此外Fab工廠會(huì)使用大量的易燃易爆、毒性化學(xué)品，且種類繁多，因此設(shè)計(jì)師在設(shè)計(jì)過程中要格外注意根據(jù)規(guī)范設(shè)計(jì)甲乙類氣體、危險(xiǎn)化學(xué)品，甚至惰性氣體的存放和分配間應(yīng)靠外墻布置，且酸性，堿性，有機(jī)類化學(xué)品存放收集間相對(duì)應(yīng)的室外還應(yīng)預(yù)留足夠的槽罐車裝卸場(chǎng)地面積。消防設(shè)計(jì)作為Fab工廠設(shè)計(jì)的難點(diǎn)和痛點(diǎn)，設(shè)計(jì)師要在防火分區(qū)設(shè)計(jì)、防泄爆設(shè)計(jì)、專用消防口的設(shè)置工作中投入大量精力。《硅集成電路芯片工廠設(shè)計(jì)規(guī)范》、《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》、《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》這四大規(guī)范作為晶圓車間設(shè)計(jì)的主要規(guī)范，每位設(shè)計(jì)師需研究透徹并作為設(shè)計(jì)依據(jù)加以實(shí)踐。

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